特許
J-GLOBAL ID：200903057375171365
カーボンナノチューブデバイス、ならびに、その製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
石井 裕一郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005013629
公開番号（公開出願番号）：WO2006-011468
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
カーボンナノチューブデバイスは、基板(1)と、基板(1)に接して基板(1)の垂直方向に貫通する隙間(5)を有する層(3)と、その隙間(5)に面した基板(1)の表面上に隙間(5)の中心からの距離に応じて連続的に変化する数密度分布を持つように形成されるカーボンナノチューブ(7)と、を備え、カーボンナノチューブ(7)は、基板(1)の反対側の被覆膜(4)の開口部および隙間(5)を通して触媒物質を供給することで触媒物質の供給量を希釈し、隙間(5)の見え方に応じた担持量分布を持つ触媒を隙間(5)に面した基板(1)上に形成させた後、炭素源を供給することにより、数密度分布のあるカーボンナノチューブを基板(1)上に形成する。
請求項（抜粋）：
基板(1)と、
前記基板(1)に接し、前記基板(1)に対して垂直方向に貫通する隙間(5)を有する層(3)と、
前記隙間(5)に面した前記基板(1)の表面上に、前記隙間(5)の中心からの距離に応じて連続的に変化する数密度分布を持つカーボンナノチューブ(7)と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
5C127AA01
, 5C127AA04
, 5C127AA05
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127CC10
, 5C127DD07
, 5C127DD09
, 5C127DD12
, 5C127DD32
, 5C127DD56
, 5C127EE15
, 5C127EE17
, 5C135AA15
, 5C135AB07
, 5C135AC03
, 5C135AC29
, 5C135HH15
, 5C135HH17
