特許
J-GLOBAL ID:200903057424960842

表面波による欠陥の検査方法及び検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 光司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-260694
公開番号(公開出願番号):特開2003-066012
出願日: 2001年08月30日
公開日(公表日): 2003年03月05日
要約:
【要約】【課題】 測定精度が高く迅速に実施することの可能な表面波による欠陥の検査方法及び検査装置を提供すること。【解決手段】 管100の一部である検査対象部101を跨いで表面波の送信子3と受信子4とをガイド装置Gに支持させて配置する。これら送信子3及び受信子4によりこれらの距離をほぼ一定に保ちながら管100の軸方向Yに沿って検査対象部101を走査する。そして、受信子4による受信波の到達時間を各走査位置で比較することにより検査対象部101の減肉等の欠陥Dを検査する。管軸方向に沿ってガイド装置を移動させればよいので、迅速に検査を実施することができるようになった。
請求項(抜粋):
管(100)の一部である検査対象部(101)を跨いで表面波の送信子(3)と受信子(4)とをガイド装置(G)に支持させて配置し、これら送信子(3)及び受信子(4)によりこれらの距離をほぼ一定に保ちながら前記管(100)の軸方向(Y)に沿って前記検査対象部(101)を走査し、前記受信子(4)による受信波の到達時間を各走査位置で比較することにより検査対象部(101)の減肉等の欠陥(D)を検査する表面波による欠陥の検査方法。
IPC (3件):
G01N 29/08 502 ,  G01N 29/18 ,  G01N 29/26 501
FI (3件):
G01N 29/08 502 ,  G01N 29/18 ,  G01N 29/26 501
Fターム (8件):
2G047AA07 ,  2G047AB01 ,  2G047BA02 ,  2G047BC02 ,  2G047CB03 ,  2G047EA09 ,  2G047EA14 ,  2G047GA13
引用特許:
審査官引用 (12件)
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