ストロボ照明制御システムおよびその方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：木下實三 , 中山寛二 , 石崎剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-204690
公開番号（公開出願番号）：特開2007-040993
出願日： 2006年07月27日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】様々な典型的な実施形態で、検査対象物のストロボ照明のシステムおよび方法を提供する。【解決手段】このシステムは、照明光源、画像取込み装置、および制御システムを含むことができる。照明光源は、検査対象物に対する過渡的なフラッシュとして可視光、紫外光、または近赤外光を放出することができる。この過渡的なフラッシュは、ランプトリガーに対応して発生する。照明光源は、フラッシュ継続期間中に、開始閾値からピークに上昇し、その後、停止閾値まで低下する照度で光を放出することができる。画像取込み装置は、露光トリガーから開始する露光継続期間中に検査対象物に関連する光をキャプチャすることができる。制御システムは、フラッシュ継続期間中に露光継続期間が終わり、フラッシュの残りの部分が画像露光に影響しないように、照明光源および画像取込み装置を制御してランプトリガーを同期化させることができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

マシンビジョンシステムで複数の光チャンネルによって提供される画像露光ストロボ照明を制御する照明制御システムであって、カメラと、前記カメラによる撮像に使用可能な放射光を放出するストロボ照明光源と、前記放出される放射光を受け取るように配置された複数の制御可能な光チャンネル開口部を備える制御可能な空間光変調器と、前記空間光変調器を制御する制御システム部と、前記各光チャンネル開口部に対応するように設けられ、かつ前記各光チャンネル開口部から伝送される放射光を受け取るように配置された複数の光ケーブルと、を備え、前記空間光変調器が制御されて、前記放出される放射光が前記各光チャンネル開口部のいずれを通じて、対応する前記光ケーブルに伝送されるかを決定することを特徴とするシステム。

IPC (5件)：

G01B 11/00 , G03B 15/05 , G03B 15/00 , G03B 15/02 , G03B 15/03

FI (6件)：

G01B11/00 H , G03B15/05 , G03B15/00 T , G03B15/02 G , G03B15/02 R , G03B15/03 W

Fターム (18件)：

2F065AA21 , 2F065FF04 , 2F065FF44 , 2F065GG03 , 2F065GG08 , 2F065HH07 , 2F065JJ19 , 2F065LL01 , 2F065NN01 , 2F065NN08 , 2H053AD03 , 2H053BA31 , 2H053BA54 , 2H053BA71 , 2H053CA06 , 2H053CA12 , 2H053CA15 , 2H053DA00

引用特許：

出願人引用 (18件)

米国特許第6,542,180号
米国特許出願第10/719,210号
米国特許出願第10/901,355号

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審査官引用 (11件)

特表平5-508702
距離計測方法および距離計測機能を有する画像入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-183659 出願人：株式会社日立製作所
パターン検査装置及びこれを用いた露光装置制御システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-252896 出願人：ソニー株式会社

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