特許
J-GLOBAL ID:200903057456467064

半導体装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 畑 泰之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-247094
公開番号(公開出願番号):特開2000-077540
出願日: 1998年09月01日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】 製造工程を増加させることなく、電気的特性の劣化を防止することによって、高速化に適合したCMOS半導体装置を提供するものである。【解決手段】 表面チャネル型CMOSのゲート電極8において、NMOS側のゲート電極8’の高さがPMOS側のゲート電極8”の高さより低くなるように構成された半導体装置100。
請求項(抜粋):
表面チャネル型CMOSのゲート電極において、NMOS側のゲート電極の高さがPMOS側のゲート電極の高さより低いことを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/8238 ,  H01L 27/092
Fターム (11件):
5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB01 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB13 ,  5F048BF03 ,  5F048BG12 ,  5F048DA25
引用特許:
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る