特許
J-GLOBAL ID：200903057460815310
汎用走査型電子顕微鏡としての電子ビームマイクロカラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-544882
公開番号（公開出願番号）：特表2000-514238
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】たとえば荷電粒子顕微鏡検査法に使用することのできる荷電粒子マイクロカラムであって、T字型のコンフィグレーションをもち、ビーム生成用荷電粒子光学カラムを支持する比較的幅の狭いベース構造体を備えている。ベース構造体の幅が狭いことから、T字型マイクロカラムと試料を互いに垂線とは異なる角度でポジショニングすることができ、これによって試料表面の3次元的イメージの生成が可能となる。このため、T字型マイクロカラムにより生成される荷電粒子ビームの入射角を、短い作動距離を維持しつつ変化させることができる。その際、慣用の2次/後方散乱荷電粒子検出器を使用することができる。それというのも、荷電粒子の反射角度ゆえにT字型マイクロカラムとは別個の荷電粒子検出器を使用できるからである。しかもT字型マイクロカラムのサイズが小さいことから、試料に対し相対的にT字型マイクロカラムを動かすことで、定置された大きい試料の様々な部分を観察できるようになる。また、スループット向上のため、複数のT字型マイクロカラムをアレイ状に配置することができる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームイメージング装置において、 試料を保持する支持部材と、 1つの軸を規定し前記支持部材の上にポジショニングされた荷電粒子ビームマイクロカラムが設けられており、 該荷電粒子ビームマイクロカラムは、ケーシング構造体と、該ケーシング構造体から下向きに垂れ下がった支持構造体と、該支持構造体と結合されたベース構造体を有しており、該ベース構造体は前記ケーシング構造体よりも細く、 前記荷電粒子ビームマイクロカラムの軸は、前記支持部材の主表面に対する垂線とは異なる角度にあることを特徴とする、 荷電粒子ビームイメージング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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