特許
J-GLOBAL ID：200903057497008937

圧力センサ

発明者：
佐々木 慶治

佐々木 慶治 について

, 
宮野 純一

宮野 純一 について


出願人/特許権者：
株式会社不二工機

株式会社不二工機 について


代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312611
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133345
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 高周波の電磁ノイズの影響をなくした絶対圧方式もしくはシールドゲージ圧方式の圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力導入孔12を有するハウジング10と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子22よりなるセンサエレメント20と、センサエレメント20を固着するホルダ30と、電磁シールド作用を有する圧力ケース60とを有し、センサエレメント20とホルダ30と圧力ケース60を気密に溶接して参照用圧力空間を形成した圧力センサ本体とした圧力センサ1-1において、圧力センサ本体をハウジング10に電気的に絶縁して保持する。
請求項（抜粋）：
圧力導入孔を有するハウジングと、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなるセンサエレメントと、前記センサエレメントを固着するホルダと、電磁シールド作用を有する圧力ケースとを有し、前記センサエレメントと前記ホルダと前記圧力ケースを気密に溶接して参照用圧力空間を形成した圧力センサ本体とした圧力センサにおいて、前記圧力センサ本体が前記ハウジングに電気的に絶縁されて保持されることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 29/84 A
Fターム (19件)：
2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055BB03 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE13 ,  2F055FF49 ,  2F055GG12 ,  2F055GG49 ,  2F055HH05 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA12 ,  4M112CA13 ,  4M112CA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA11 ,  4M112FA11 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 半導体感圧素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-250290   出願人：富士電機株式会社
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-097860   出願人：株式会社不二工機
  • 圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-174570   出願人：株式会社カンセイ
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