特許

J-GLOBAL ID：200903057506744285

圧電素子片及び圧電振動片の製造方法

発明者： 白石 茂 ,  池原 忠好
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223494
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037463
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【解決手段】 ATカット水晶ウエハ3の一方の面又は両面を圧電素子片の外形線6a、6bに沿ってその両側に所望の幅の狭い範囲を、口径の小さいノズル1から微細砥粒7を噴射してブラスト加工することにより、断面コンベックス形状の圧電素子片を製造する。また、ATカット水晶ウエハ3の一方の面又は両面に圧電素子片の外形線に沿って所望の幅の開口部19、23、25を有するマスク18、22、24を設け、口径の大きいノズル20から微細砥粒21を噴射してブラスト加工することにより、同様に断面コンベックス形状の圧電素子片を製造する。【効果】 製造時間を短縮でき、生産性の向上を図れる。励振電極を形成する中央領域に面荒れが無く、コンベックス形状を制御できるので、CI値の抑制及びQ値等の周波数特性の向上を実現できる。1枚の水晶ウエハから多数の圧電素子片を個々にばらつきを生じることなく、大量生産できる。

請求項（抜粋）：

圧電材料薄板から断面コンベックス形状の圧電素子片を製造するために、前記圧電材料薄板を少なくともその一方の面について前記圧電素子片の外形線に沿ってブラスト加工する過程を含むことを特徴とする圧電素子片の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

H03H 3/02 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (14件)：

5J108BB02 ,  5J108CC05 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 圧電素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-044649   出願人：セイコー精機株式会社
• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-085038   出願人：シチズン時計株式会社
• 圧電振動子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-097299   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開平4-322508
  
• 特開平4-277625
  
• 音叉型水晶片の電極形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-248989   出願人：シチズン時計株式会社