特許
J-GLOBAL ID：200903057509886790

顕微鏡および薄板エッジ検査装置

発明者：
土坂 新一

土坂 新一 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-246929
公開番号（公開出願番号）：特開2006-064975
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】 薄板のエッジ部分の複数の面を同時に観察でき、欠陥などを効率的にに検出できる顕微鏡および薄板エッジ検査装置を提供する。【解決手段】 第1の結像光学系の光軸に対し、第2および第3の結像光学系の光軸が対称に配置された3つの結像光学系を有し、第2および第3の結像光学系のそれぞれの光軸をミラー5b、5cとミラー8b、8cで偏向して、これら3つの結像光学系の光軸が基準物体点と基準像点で互いに交わるように構成し、このうち、基準像点側に像合成プリズム9を配置し、それぞれの結像光学系からのウェハ6の像を合成し、リレーレンズ10を有する観察光学系200を介してCCD12で撮像する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
それぞれの光軸が基準物体点と基準像点で互いに交わるように配置された複数の結像光学系と、 これら結像光学系の基準像点側に配置され、それぞれの結像光学系からの被検体の像を合成する像合成手段と、 前記像合成手段で合成された前記被検体の像を観察する観察手段と を具備したことを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G01B11/30 A
Fターム (25件)：
2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ19 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL59 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  2H052AB05 ,  2H052AB17 ,  2H052AB26 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC14 ,  2H052AC27 ,  2H052AC33 ,  2H052AD02 ,  2H052AD32 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 端部欠陥検査方法とその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-104202   出願人：住友シチックス株式会社, 株式会社レイテックス
  • 特公昭56-21130号公報
  • 特開昭57-26835号公報
審査官引用 (3件)

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