極端紫外光源装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宇都宮正明 , 渡部温 , 柳瀬睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-059179
公開番号（公開出願番号）：特開2009-218323
出願日： 2008年03月10日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：

【課題】チャンバ内に滞留及び蓄積したデブリがチャンバを汚染して集光ミラー等の重要光学コンポーネントの性能を低下させることを防止し、長期間安定に極端紫外光を発生することが可能な極端紫外光源装置を提供する。【解決手段】極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、チャンバと連通し、排気装置と接続されてチャンバ内を一定の圧力に維持する排気経路と、排気経路に備えられ、プラズマから発生するデブリを捕集する捕集装置と、捕集されたデブリをチャンバ外に回収する回収装置とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、前記チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、前記チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、前記チャンバと連通し、排気装置と接続されて前記チャンバ内を一定の圧力に維持する排気経路と、前記排気経路に備えられ、プラズマから発生するデブリを捕集する捕集装置と、捕集されたデブリを前記チャンバ外に回収する回収装置と、を具備する極端紫外光源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 531A , H01L21/30 531S , G03F7/20 521

Fターム (3件)：

5F046AA08 , 5F046GA07 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

極端紫外光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-261871 出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
米国特許出願公開第2006/0091109号明細書

審査官引用 (4件)

極端紫外光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-261871 出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
極端紫外光光源装置及び極端紫外光光源装置で発生するデブリの除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-015182 出願人：ウシオ電機株式会社
特にリソグラフィのための極短紫外の光を生成するための方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-582673 出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク

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