特許
J-GLOBAL ID：200903057604593732

角速度センサ及びその製造方法

発明者：
矢島 孝博

矢島 孝博 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 山下 穣平 ,  永井 道雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-214796
公開番号（公開出願番号）：特開2009-047591
出願日： 2007年08月21日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：
【課題】小型化が可能で、可動部分がないため高い歩留まりで製造できる、高信頼性及び低故障率の角速度センサとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】流体が循環するための閉流路102が基板に101形成され、流体を循環させる駆動部104が閉流路102に設けられる角速度センサにおいて、流体を加熱する熱源104と、流体の温度を検知する温度検知手段105と、を備えることを特徴とする。また、温度検知手段105は、少なくとも二つ備わっている。また、温度検知手段105は、閉流路102の対称の位置に配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体が循環するための閉流路が基板に形成され、 前記流体を循環させる駆動部が前記閉流路に設けられる角速度センサにおいて、 前記流体を加熱する熱源又は前記流体を冷却する冷却源と、 前記流体の温度を検知する温度検知手段と、 を備えることを特徴とする角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/14 ,  G01P 9/00 ,  G01P 5/10 ,  H01L 29/84
FI (4件)：
G01C19/14 ,  G01P9/00 Z ,  G01P5/10 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (4件)：
4M112AA02 ,  4M112BA10 ,  4M112CA41 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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