特許
J-GLOBAL ID：200903057672598955
構造部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235005
公開番号（公開出願番号）：特開2001-058867
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 低熱膨張特性と高剛性とを兼備し、半導体製造装置、計測機器、精密機器などに好適な構造部品を提供すること。【解決手段】 第1の材料と第2の材料からなる緻密質の複合セラミックスで構成された構造部品であって、第1の材料の重量割合をW1%、密度をρ1、室温近傍の熱膨張係数をα1、ヤング率をE1とし、第2の材料の重量割合をW2%、密度をρ2、室温近傍の熱膨張係数をα2、ヤング率をE2とした場合に、室温近傍の熱膨張係数α(1/°C)およびヤング率E(GPa)がそれぞれ以下の式で表され、かつ-1×10-6≦α≦1×10-6、E≧150の範囲である。α=[(W1E1α1/ρ1)+(W2E2α2/ρ2)]/[(W1E1/ρ1)+(W2E2/ρ2)]+AE=B×[(W1E1ρ2)+(W2E2ρ1)]/[(W1ρ2)+(W2ρ1)]ただし、A=-0.5×10-6〜1.0×10-6、B=0.8〜1.2
請求項（抜粋）：
第1の材料と第2の材料からなる緻密質の複合セラミックスで構成された構造部品であって、第1の材料の重量割合をW1%、密度をρ1、室温近傍の熱膨張係数をα1、ヤング率をE1とし、第2の材料の重量割合をW2%、密度をρ2、室温近傍の熱膨張係数をα2、ヤング率をE2とした場合に、室温近傍の熱膨張係数α(1/°C)およびヤング率E(GPa)がそれぞれ以下の式で表され、かつ-1×10-6≦α≦1×10-6、E≧150の範囲であることを特徴とする構造部品。α=[(W1E1α1/ρ1)+(W2E2α2/ρ2)]/[(W1E1/ρ1)+(W2E2/ρ2)]+AE=B×[(W1E1ρ2)+(W2E2ρ1)]/[(W1ρ2)+(W2ρ1)]ただし、A=-0.5×10-6〜1.0×10-6、B=0.8〜1.2
Fターム (15件)：
4G030AA02
, 4G030AA16
, 4G030AA17
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA41
, 4G030AA47
, 4G030AA51
, 4G030AA52
, 4G030BA18
, 4G030BA20
, 4G030BA24
, 4G030HA16
, 4G030HA18
, 4G030HA25
