特許
J-GLOBAL ID：200903057677591827
微細形状の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉井 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152867
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347942
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】 微細形状の形成にウエットブラスト法を採用することにより、砥粒が飛散しにくくて噴射材の回収が容易であり、また、寸法安定性良く微細形状を形成することができ、製品の不良率を低下させることもできる実用性に秀れた微細形状の形成方法を提供するものである。【解決手段】 微細な所定形状1が貫通状態に形成されたマスク2を被加工体3の被加工面4に設け、該マスク2上に噴射材5を噴射して該被加工面4を切削することにより微細な所定形状を該被加工面4に形成する微細形状の形成方法であって、噴射材5は液体に砥粒が混入されたものであり、該噴射材5をエアーで噴射するものである。
請求項（抜粋）：
微細な所定形状が貫通状態に形成されたマスクを被加工体の被加工面に設け、該マスク上に噴射材を噴射して該被加工面を切削することにより微細な所定形状を該被加工面に形成する微細形状の形成方法であって、噴射材は液体に砥粒が混入されたものであり、該噴射材をエアーで噴射することを特徴とする微細形状の形成方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24C 1/04 B
, B24C 1/04 F
, B24C 5/02 B
