特許
J-GLOBAL ID：200903057874363666

光干渉式測定装置

発明者：
衣笠 静一郎

衣笠 静一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄 ,  伊東 有道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-114459
公開番号（公開出願番号）：特開2008-268121
出願日： 2007年04月24日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】非接触で2点間の高さの差を測定可能な光干渉式測定装置を提供する。【解決手段】照射光を発する光源114、照射光を第1参照光と第1検査光に分割する第1半透鏡41、第1参照光と第1測定点91に照射されて第1測定光路長を進んだ第1検査光とを干渉させ、第1干渉縞を形成させる第1光学素子31、照射光を第2参照光と第2検査光に分割する第2半透鏡42、第2参照光と第2測定点92に照射されて第2測定光路長を進んだ第2検査光とを干渉させ、第2干渉縞を形成させる第2光学素子32、第1干渉縞と第2干渉縞の合成干渉縞を検出する干渉縞検出素子153、合成干渉縞から、第1測定光路長と第2測定光路長との光路差に応じて変動する干渉縞成分を抽出する抽出モジュール310、及び干渉縞成分から、第1測定点91と第2測定点92の高さの差を算出する算出モジュール330を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
照射光を発する光源と、 前記照射光を第1参照光と第1検査光に分割する第1半透鏡と、 前記第1参照光と第1測定点に照射されて第1測定光路長を進んだ前記第1検査光との第1干渉縞を形成させる第1光学素子と、 前記照射光を第2参照光と第2検査光に分割する第2半透鏡と、 前記第2参照光と第2測定点に照射されて第2測定光路長を進んだ前記第2検査光との第2干渉縞を形成させる第2光学素子と、 前記第1干渉縞と前記第2干渉縞の合成干渉縞を検出する干渉縞検出素子と、 前記合成干渉縞から、前記第1測定光路長と前記第2測定光路長との光路差に応じて変動する干渉縞成分を抽出する抽出モジュールと、 前記干渉縞成分から、前記第1測定点と前記第2測定点の高さの差を算出する算出モジュール とを備えることを特徴とする光干渉式測定装置。
IPC (3件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/02 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G01B9/02 ,  G01B11/02 G ,  H01L21/30 503A
Fターム (51件)：
2F064AA01 ,  2F064AA09 ,  2F064EE05 ,  2F064EE06 ,  2F064FF01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064FF08 ,  2F064FF10 ,  2F064GG02 ,  2F064GG03 ,  2F064GG17 ,  2F064GG20 ,  2F064GG24 ,  2F064GG42 ,  2F064GG44 ,  2F064GG49 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065CC17 ,  2F065CC19 ,  2F065EE03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065MM28 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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