特許
J-GLOBAL ID：200903058039646920
レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
, 鵜飼 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-249622
公開番号（公開出願番号）：特開2008-068288
出願日： 2006年09月14日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：
【課題】 良好な加工品質で加工を行う。【解決手段】レーザ光源と、レーザ光源から出射したビームが進行する第1光路と斜めに交差する反射界面を備え、第1直線偏光成分を透過し第2直線偏光成分を反射する分離器と、分離器を経たビームの光路上に配置され、第1方向から入射したビームを第2方向または第3方向に選択的に出射することができ、第1方向から入射したビームが第2方向に出射されるとき、第2方向から入射したビームを、第1方向に出射する偏向器と、分離器と偏向器の間の光路上または第2方向に向かうビーム光路上に配置され、直線偏光を円偏光にまたは円偏光を直線偏光に変換する光学部材と、第3方向に向かうビームの光路上に配置されたダンパと、第2方向から偏向器に入射し、分離器を経た光が入射し、第2光路上に配置された光検出器と、光検出器に入射した光の強度が所定値となったとき偏向器に入射したビームが第3方向に出射するよう制御する制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射したレーザビームが進行する第1の光路と斜めに交差する反射界面を備え、入射する第1の直線偏光成分を透過し、前記第1の直線偏光成分とは偏光方向の異なる第2の直線偏光成分を反射する分離器と、
前記分離器を経たレーザビームの光路上に配置され、第1の方向から入射したレーザビームを前記第1の方向とは異なる第2の方向、または前記第1及び第2の方向とは異なる第3の方向に選択的に出射することができ、前記第1の方向から入射したレーザビームが前記第2の方向に出射される状態のとき、前記第2の方向から入射したレーザビームを、前記第1の方向に出射する偏向器と、
前記分離器と前記偏向器との間の光路上、または、前記第2の方向に向かうレーザビームの光路上に配置され、入射する直線偏光を円偏光に、または、入射する円偏光を直線偏光に変換する光学部材と、
前記第3の方向に向かうレーザビームの光路上に配置されたビームダンパと、
前記第2の方向から前記偏向器に入射し、前記分離器を経た光が入射し、前記第1の光路とは異なる第2の光路上に配置された光検出器と、
前記光検出器に入射した光の強度が所定の値となったとき、前記偏向器に入射したレーザビームが前記第3の方向に出射するように制御する制御装置と
を有するレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/38
, B23K 26/00
, B23K 26/06
B23K26/38 330
, B23K26/00 P
, B23K26/06 Z
4E068AF00
, 4E068CA03
, 4E068CB01
, 4E068CB09
, 4E068CB10
, 4E068CC01
, 4E068CD08
, 4E068DA11
