特許
J-GLOBAL ID：200903058086456455
近接場顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-345372
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148172
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、測定結果からノイズの影響を除去することができる近接場顕微鏡を提供するとともに、光源として赤外光源を用い、近接場技術を用いて光の波長より小さな範囲での近接場赤外スペクトル測定を可能とする赤外近接場顕微鏡を提供することである。【解決手段】 本発明における近接場顕微鏡2は、プローブ4と、光源8を含む光照射手段10と、光採取手段14と、算出手段16とを有し、光の照射によって発生する近接場光の場から試料6またはプローブ4を隔離または近接場光の場の浅い位置に配置して、光採取手段14によってノイズを検出し、前記光の照射によって発生する近接場光の場に試料6またはプローブ4を深く挿入して、光採取手段14によって光強度を検出して、算出手段16によって、前記光強度からノイズを差し引いた測定結果を算出することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
近接場光を散乱させるためのプローブと、試料または前記プローブに光を照射するための光源を含む光照射手段と、前記プローブによって散乱される試料の情報を含んだ光を採取し、検出するための光採取手段と、を有する近接場顕微鏡において、前記光の照射によって発生する近接場光の場から前記試料またはプローブを隔離または近接場光の場の浅い位置に配置して、前記光採取手段によってノイズを検出し、前記光の照射によって発生する近接場光の場に前記試料またはプローブを深く挿入して、前記光採取手段によって光強度を検出し、前記光強度からノイズを差し引いた測定結果を算出するための算出手段を有することを特徴とする近接場顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/14 A
, G12B 1/00 601 C
