特許
J-GLOBAL ID：200903058089720137
ネガ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121049
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146556
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤系、および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該架橋剤が高アルキル型のアルコキシメチルメラミン樹脂であり、かつアルコキシメチルメラミン樹脂のモノマー成分含有量が5〜40重量%であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、高解像力であり、かつ保存安定性も良好である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤系、および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、該架橋剤が高アルキル型のアルコキシメチルメラミン樹脂であり、かつアルコキシメチルメラミン樹脂のモノマー成分含有量が5〜40重量%であることを特徴とするネガ型感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, C08L 61/28 LNL
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, H01L 21/02
