特許
J-GLOBAL ID：200903058106677747

機能性デバイス及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド

発明者：
百瀬 信也

百瀬 信也 について

, 
北村 健一

北村 健一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-105420
公開番号（公開出願番号）：特開2006-281639
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【解決課題】 基板表面に、接着剤の逃げ用の凹部を形成するに際して、凹部のオーバーエッチングを防いで、金属異物が凹部底面に残り、これが剥離して基板の配線パターンを短絡させたり、或いはインクジェットヘッドの基板のようにインク流路に相当する孔部に金属異物が混入して、液体噴射ヘッドのノズルを詰まらせる問題を解決する。【解決手段】 複数の基板を接着剤で接合して形成される機能性デバイスにおいて、互いに接着される基板同士の接合面の少なくとも一方に、余分な接着剤の逃げ用の領域となる凹部が形成され、前記凹部の開口部形状を、鋭角が前記基板の結晶方位3に直交する方向側にならないように形成してなる、ことを特徴とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
複数の基板を接着剤で接合して形成される機能性デバイスにおいて、 互いに接着される基板同士の接合面の少なくとも一方に、余分な接着剤の逃げ用の領域となる凹部が形成され、 前記凹部の開口部の形状を、鋭角部分が前記基板の深さ方向を支配する結晶方位に直交する方向側にならないように形成してなる、機能性デバイス。
IPC (3件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件)：
B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A
Fターム (12件)：
2C057AF72 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG15 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (5件)
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