特許
J-GLOBAL ID:200903058160291846

運動センサ振動体および振動ジャイロスコープ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-297191
公開番号(公開出願番号):特開2001-082963
出願日: 1999年09月13日
公開日(公表日): 2001年03月30日
要約:
【要約】【課題】 小型・薄型でQ値が高く加工・調整が容易であり、コリオリ力の検出感度が高く、面内回転の検出、あるいは多方向の直線加速度センサを提供すること、また新しい原理による測定法を採用したジャイロセンサを提供すること。【解決手段】 一つの平面内で折れ線や半渦巻き状等の大きく屈曲した形状を与えて各部の表面に励振用・検出用電極を設けしかも振動の慣性力が全体として相殺された質量分布を有する振動脚を複数備え、更には脚の各部を同種の結晶軸と所定の方向をなさしめ、あるいは脚の4面に検出電極を設けた構造としてセンサ用振動体の高度な特性を得た。また3〜6個の振動脚を放射状に配して直線加速度の多軸検出を可能とした。またコリオリ力による振動脚の変形を利用し振動周期の変化を計測し角速度を検知するセンサを構成した。
請求項(抜粋):
実質的に一つの平面内に複数の片持ち振動脚を有し、該各振動脚の少なくとも1つは固定端から自由端へと辿るとき90°を越えて互に向きが異なる部分を有し、かつ当該振動脚の振動質量の重心を180°以上の角度で包囲するような屈曲した形状を備えると共に、前記複数の振動脚が前記平面内で自由振動するときそれらの振動質量の重心の振動軌跡がほぼ同一直線上にあるようにして励振される振動の慣性力が全体としてほぼ相殺されるように設定され、前記屈曲した形状の表面に少なくとも励振用の電極を設けたことを特徴とする振動ジャイロスコープ用の運動センサ振動体。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (10件):
2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13 ,  2F105CD20
引用特許:
審査官引用 (4件)
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