特許

J-GLOBAL ID：200903058240414590

静電振動子および発振器

発明者： 神谷 亮平 ,  大海 学 ,  木村 文雄
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-010007
公開番号（公開出願番号）：特開2009-171483
出願日： 2008年01月21日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：

【課題】温度変化に起因する共振周波数変化を温度変化に対して受動的に補償した従来の静電振動子に比べ、広い温度範囲で共振周波数を一定に保つことが可能な静電振動子を提供する。【解決手段】基板8に固定された振動体1と、前記振動体に対し間隙を隔て配置された電極2と、前記振動体に圧接する拘束体3、6及び4、5と、を備え、前記電極からの交流電圧によって前記振動体に振動が生じる静電振動子であって、前記振動体と前記拘束体が温度変化に起因して膨張、または収縮し、前記膨張、または前記収縮によって前記振動体と前記拘束体とが圧接する振動体圧接部に変化が生じ、前記振動体圧接部の変化によって前記振動体の振動範囲の長さが変化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に固定された振動体と、前記振動体に対し間隙を隔て配置された電極と、前記振動体に圧接する拘束体と、を備え、前記電極からの交流電圧によって前記振動体に振動が生じる静電振動子であって、 前記振動体と前記拘束体が温度変化に起因して膨張、または収縮し、 前記膨張、または前記収縮によって前記振動体と前記拘束体とが圧接する振動体圧接部に変化が生じ、 前記振動体圧接部の変化によって前記振動体の振動範囲の長さが変化することを特徴とする静電振動子。

IPC (1件)：

H03H 9/24

FI (1件)：

H03H9/24 Z

Fターム (10件)：

5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE05 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108JJ04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6987432号明細書,pp.16-17,figs.2A,2B,3,4A.
  

審査官引用 (3件)

• シリコンMEMS共振器のための温度補償
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-509524   出願人：ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
• マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-209850   出願人：シャープ株式会社
• マイクロマシン構造体のための懸架装置並びにマイクロマシン・加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223714   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング