特許
J-GLOBAL ID:200903058374041081

平坦化層用放射線硬化性樹脂組成物、平坦化層、平坦化層の製造方法及び固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-022601
公開番号(公開出願番号):特開2006-199902
出願日: 2005年01月31日
公開日(公表日): 2006年08月03日
要約:
【課題】 固体撮像素子の平坦化層用の低屈折率硬化物を与え、かつスピンコート法による塗布性に優れた放射線硬化性樹脂組成物、及びこれを用いた、位置選択的に平坦化層が形成された、フレアの防止された固体撮像素子を提供する。【解決手段】 エチレン性不飽和基含有含フッ素重合体及び溶剤を含有することを特徴とする平坦化層用放射線硬化性樹脂組成物;それを硬化させてなる平坦化層;位置選択的に平坦化層を製造する方法及びその平坦化層を含む固体撮像素子。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
エチレン性不飽和基含有含フッ素重合体及び溶剤を含有することを特徴とする平坦化層用放射線硬化性樹脂組成物。
IPC (2件):
C08F 290/12 ,  H01L 27/14
FI (2件):
C08F290/12 ,  H01L27/14 D
Fターム (72件):
4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BA131 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BC031 ,  4J127BC062 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BC161 ,  4J127BD021 ,  4J127BD101 ,  4J127BD422 ,  4J127BD452 ,  4J127BE00X ,  4J127BE001 ,  4J127BE07X ,  4J127BE071 ,  4J127BE21X ,  4J127BE21Y ,  4J127BE211 ,  4J127BE212 ,  4J127BE51Y ,  4J127BE511 ,  4J127BF02Y ,  4J127BF02Z ,  4J127BF022 ,  4J127BF62X ,  4J127BF622 ,  4J127BF76X ,  4J127BF762 ,  4J127BF78X ,  4J127BF781 ,  4J127BG04X ,  4J127BG042 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG08X ,  4J127BG081 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG14X ,  4J127BG141 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127BG272 ,  4J127BG33X ,  4J127BG332 ,  4J127BG36Z ,  4J127BG362 ,  4J127BG38X ,  4J127BG381 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC091 ,  4J127CC111 ,  4J127FA08 ,  4J127FA24 ,  4J127FA30 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118HA40
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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