特許
J-GLOBAL ID：200903058488913020

電気機械素子とその製造方法、並びに共振器とその製造方法

発明者：
多田 正裕

多田 正裕 について

, 
御手洗 俊

御手洗 俊 について

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盛田 伸也

盛田 伸也 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  伊藤 仁恭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-109097
公開番号（公開出願番号）：特開2007-276089
出願日： 2006年04月11日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】カプセル封止の電気機械素子の高信頼性化を図る。【解決手段】下部電極62、63と可動子35を有する電気機械素子本体64と、電気機械素子本体64を空間37を保持して封止したオーバーコート膜38とを備え、オーバーコート膜38と可動子35との間に支柱52が設けられていることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
下部電極と可動子を有する電気機械素子本体と、 前記電気機械素子本体を、空間を保持して封止したオーバーコート膜とを備え、 前記オーバーコート膜と前記可動子との間に支柱が設けられている ことを特徴とする電気機械素子。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ,  H03H 9/24 ,  H03H 9/46 ,  H03H 3/007
FI (4件)：
B81B3/00 ,  H03H9/24 Z ,  H03H9/46 Z ,  H03H3/007 Z
Fターム (3件)：
5J108AA07 ,  5J108CC00 ,  5J108MM00
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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