流量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本田崇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172854
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227354
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】センサチューブの温度上昇が僅かであっても適切に検出する。【解決手段】センサチューブ上に設けられた発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の温度を制御するための温度センサと、これら発熱抵抗体および温度センサを保持するケースとを備え、前記センサチューブを流れる流体の流量に応じて生じる前記発熱抵抗体の印加電圧の変化に基づき流体の流量を検出する流量センサにおいて、前記発熱抵抗体による前記センサチューブの温度上昇が数度となるように、前記発熱抵抗体へ電圧印加を行う電圧印加手段を具備した。

請求項（抜粋）：

センサチューブ上に設けられた1組の発熱抵抗体と、前記1組の発熱抵抗体の温度を制御するための温度センサと、これら発熱抵抗体および温度センサを保持するケースとを備え、前記センサチューブを流れる流体の流量に応じて生じる前記発熱抵抗体の印加電圧の変化に基づき流体の流量を検出する流量センサにおいて、前記発熱抵抗体による前記センサチューブの温度上昇が数度となるように、前記発熱抵抗体へ電圧印加を行う電圧印加手段を具備したことを特徴とする流量センサ。

IPC (4件)：

G01F 1/68 , G01F 1/00 , G01F 15/02 , G01P 5/12

FI (4件)：

G01F 1/68 , G01F 1/00 S , G01F 15/02 , G01P 5/12 Z

Fターム (8件)：

2F030CA10 , 2F030CC01 , 2F030CD15 , 2F031AA03 , 2F031AC01 , 2F035EA01 , 2F035EA04 , 2F035EA09

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平4-366726
特開平4-366726
特開平4-178527

全件表示

前のページに戻る