特許
J-GLOBAL ID：200903058523248131

ノズルプレートおよびその製造方法

発明者：
出口 治彦

出口 治彦 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 原 謙三 ,  木島 隆一 ,  金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320869
公開番号（公開出願番号）：特開2006-130745
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 製造時におけるノズル部材の損傷から該ノズル部材を保護し、ノズルプレートの形状精度の安定性を向上することのできる、ノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係るノズルプレート1の製造方法は、犠牲部材9に第1の感光性樹脂層12を積層し、第1マスク13を用いて第1の感光性樹脂層12を感光させて、該第1の感光性樹脂層12内にノズル2を形成し、さらに、第1の感光性樹脂層12上に、第2の感光性樹脂層15を積層し、第2マスク16を用いて第2の感光性樹脂層15を感光させて、該第2の感光性樹脂層15内にベース部4を形成し、現像処理と、犠牲部材9の分離とを行ってノズルプレート1を製造する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
液状物質を吐出するノズル穴を一端に有するノズル貫通穴が設けられたノズル部材と、液状物質の流路となる流路貫通穴が設けられた基板部材とを備えたノズルプレートの製造方法であって、 第1の感光性樹脂層を、犠牲部材に積層する第1積層工程と、 上記第1積層工程によって積層された第1の感光性樹脂層に、該第1の感光性樹脂層を感光させて第1貫通穴を形成する光を照射する第1感光工程と、 上記第1感光工程によって感光された上記第1の感光性樹脂層に、光透過材料からなる第2の感光性樹脂層を積層する第2積層工程と、 上記第2積層工程によって積層された上記第2の感光性樹脂層に、該第2の感光性樹脂層を感光させて上記第1貫通穴と連通する第2貫通穴を形成する光を照射する第2感光工程と、 上記第1および第2感光工程によって感光された上記第1および第2の感光性樹脂層を現像する現像工程と、 上記第1および第2感光工程によって感光された上記第1および第2の感光性樹脂層と、上記犠牲部材とを分離する分離工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
B41J 2/135
FI (1件)：
B41J3/04 103N
Fターム (10件)：
2C057AF93 ,  2C057AG01 ,  2C057AG04 ,  2C057AG12 ,  2C057AP13 ,  2C057AP31 ,  2C057AP47 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ04 ,  2C057BD05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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