スキャン型露光装置および露光方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：後藤洋介 , 池田憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-149375
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356205
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】ウエハの正確なアライメントが容易にでき、しかもレンズとウエハの間に気体が入り込みにくい構造のスキャン型露光装置を提供する。【解決手段】縮小投影光学系3の凸レンズ200の下側の面は、所定の方向に断面した場合、中央の一部(約10mmの幅)のみがウエハ4に対して平行なフラット面で、その左右が斜面になっている。一方、所定の方向を交差する方向に断面した場合、凸レンズ200の下側の面は、全体に亘ってフラットになっている。この構成の凸レンズをスキャン型露光装置に液浸光学系を適用した場合、ウエハの正確なアライメントが容易にでき、しかもレンズとウエハの間に気体が入り込みにくい構造のスキャン型露光装置が得られる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被露光基板を載置する支持体と、前記基板にマスクパターンを縮小投影する縮小投影光学系と、前記支持体と前記縮小投影光学系とを相対的に移動させる手段とを含むスキャン型露光装置において、前記縮小投影光学系における前記支持体に最も近い光学部材の前記支持体側の端面が一方向に長い形状の前記基板に実質的に平行な平坦面を有し、かつ露光処理中に前記平坦面を露光光が通過するようにする手段および少なくとも前記露光処理中に前記平坦面と前記基板との間を液体で満たす手段とをさらに有することを特徴とするスキャン型露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D , G03F7/20 521 , H01L21/30 518

Fターム (4件)：

5F046BA05 , 5F046CB01 , 5F046CB25 , 5F046DA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-393858 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-239562 出願人：株式会社ニコン
液浸型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-121757 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る