表面処理のためのモジュラ電子ビームシステムに関する装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-546111
公開番号（公開出願番号）：特表2001-527691
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】モジュラ電子ビームデバイスが開示され、デバイスは、電力を電子ビーム管(20)に電力を与えるように結合された電源サブシステム(12,14,16)を含むモジュラ包囲部に収容される。包囲部は、ユニットの各々から射出される縞状のビームが処理表面を完全に照射するように、このような複数のモジュラユニットの積み重ねを可能にする形状である。ビームは種々の線上に置かれ得るが、合成されたビームにより、処理表面上のある幅が掃引される。ビームは種々の線上に置かれ得るが、合成ビームは、連続した長さの表面上のある幅にわたって掃引する。発明の代替的な実施例において、モジュラユニットは複数の電子ビームユニットを含み、これらの電子ビームユニットの各々は、複数の電子管(20)と、管に電力を与えるためのフィラメントおよびバイアス供給部(14,16)とを含む。単一の高電圧スタック(12)は複数の管/フィラメント/バイアスサブユニットに対して共通のものである。デージーチェーン配置により、管ユニットのすべてに電力を与える単一の高電圧スタックが可能になる。別の実施例において、モジュラユニットは、単一の電源によって電力が与えられる複数の電子管を含む。

請求項（抜粋）：

モジュラ電子ビーム装置であって、モジュラハウジングと、前記ハウジングに含まれる電子ビーム管とを備え、前記電子ビーム管は、前記ハウジングの開口部を通して露出した電子射出端部を有し、前記電子ビーム管はさらに、前記ハウジングの寸法に実質的に等しい幅を有する縞状のビームを発生するための手段を有し、さらに前記ハウジングに含まれ、前記電子ビーム管に電力を与えるよう結合された電源手段と、モジュラハウジングとを備え、前記モジュラハウジングは、前記モジュラ装置および第2のモジュラ装置の両方から射出された縞状の電子ビームがともに、片方のビームだけの幅よりは大きいが、2つの電子ビームの幅の合計よりは小さな連続した幅を有する領域を掃引するような態様で、前記第2のモジュラ装置を受ける形状を有する、モジュラ電子ビーム装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

改善した並列フィラメント電子銃
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-306919 出願人：エナジー・サイエンシーズ・インコーポレイテッド
エリアビ-ム型電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-288837 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-125519 出願人：日新ハイボルテージ株式会社

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