特許
J-GLOBAL ID：200903058675361332

検査治具

発明者：
石川 辰哉

石川 辰哉 について

, 
門脇 好伸

門脇 好伸 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021020
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208208
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】半導体装置を押さえる必要なく、半導体装置と確実かつ安定した電気的接続が可能な検査治具を提供する。【解決手段】半導体装置11が載置される検査治具基板13の載置面に複数の吸着口14を設ける。吸着口14は、パターン電極16、及びパターン電極16以外の半導体装置11が載置される領域に配置する。吸着口14は、検査治具本体12及び検査治具基板13を連通し、検査治具本体12の側面に設けられた吸引口から真空引きできるように構成されている。半導体装置11を吸着口14により吸着することで半導体装置11とパターン電極16を確実に電気的に接続できる。また、半導体装置11が載置面に密着することで、安定した電気的接続が可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
載置面に半導体装置が載置される載置台と、 前記載置面に形成され、前記半導体装置の電極と電気的に接続されるパターン電極と、 前記載置面に配置された真空吸着用の吸着口と、 を備え、 前記吸着口は、前記パターン電極の前記半導体装置の電極と電気的に接続される領域、及び前記パターン電極以外の前記半導体装置が載置される領域に配置されていることを特徴とする検査治具。
IPC (2件)：
G01R 31/26 ,  G01R 31/28
FI (2件)：
G01R31/26 J ,  G01R31/28 J
Fターム (12件)：
2G003AA07 ,  2G003AG03 ,  2G003AG07 ,  2G003AG08 ,  2G003AG10 ,  2G003AG12 ,  2G003AG16 ,  2G003AH00 ,  2G132AA00 ,  2G132AE03 ,  2G132AF02 ,  2G132AL03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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