特許

J-GLOBAL ID：200903058686078241

薄膜形成方法及び薄膜形成装置並びに蒸着源

発明者： 富谷 学 ,  五十川 征史 ,  日高 猛 ,  東條 弘美 ,  堀野 裕治 ,  茶谷原 昭義
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-185864
公開番号（公開出願番号）：特開2003-003251
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 ターゲット材料の露出部の全体を用いた薄膜形成を行うことにより、ターゲット材料の延命化を可能とする。【解決手段】 薄膜形成装置は、減圧雰囲気下で、トリガー電極3とターゲット材料1との間でトリガー放電を起こさせ、トリガー放電をきっかけとしてターゲット材料1とアーク電極4との間でアーク放電を発生させ、アーク放電によりターゲット材料1の外周面に発生したプラズマを基板8に照射して、基板8上に薄膜を形成する。ターゲット材料1の一端側は絶縁部材5及びトリガー電極3よりも基板側の外周面部が露出している。アーク電極4の一端はターゲット材料1の露出した外周面部よりも基板側に突出するとともに、突出した部分にアーク放電を起こさせるためのアーク電源の接続端子9が接続される。アーク電極4の電気抵抗値がターゲット材料1の電気抵抗値よりも大きい。

請求項（抜粋）：

長尺のターゲット材料と、このターゲット材料に絶縁部材を介して固定したトリガー電極と、これらの全体を取り囲む筒状でかつターゲット材料の基板側端面よりも筒状の端面が突出するように配置したアーク電極とを有する蒸着源を用い、減圧雰囲気下でターゲット材料の外周面にプラズマを発生させるとともに、発生したプラズマをターゲット材料の軸方向の前方に配置した基板の薄膜形成面上に照射して基板上に薄膜を形成する薄膜形成方法において、前記トリガー電極及びアーク電極に対しターゲット材料を負電圧にするためのカソード電極をターゲット材料に取り付けた状態で、カソード電極に負電圧を、アーク電極に正電圧を印加しながら、前記トリガー電極に正電圧を印加することにより、トリガー電極とターゲット材料の間でトリガー放電を起こさせ、このトリガー放電をきっかけとしてターゲット材料の表面に発生するアークスポットとアーク電極との間でアーク放電を発生させ、このアーク放電発生中にアークスポットを基板方向に移動させながらターゲット材料の外周面に発生したプラズマを基板の薄膜形成面上に照射して、基板上に薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。

Fターム (3件)：

4K029BA05 ,  4K029CA03 ,  4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 蒸着源及び蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-082702   出願人：日本真空技術株式会社, 茶谷原昭義, 藤井兼栄, 工業技術院長
• 真空アーク蒸着方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-067207   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開昭63-276858
  
• 特開昭63-276858