特許

J-GLOBAL ID：200903058975933672

ガラス基板欠陥の表裏識別方法

発明者： 岡村 真一
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-251196
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071284
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 欠陥の検出と同時に欠陥の表裏判別を行う簡便なガラス基板欠陥の表裏識別方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板の表裏いずれかに欠陥が存在するかを識別するガラス基板欠陥の表裏識別方法であって、搬送されるガラス基板より間隔を空けて設けた検査光源より照射された検査光をガラス基板に対する入射角度を一定にして照射し、表面欠陥は、ガラス基板より間隔を空けて設けた検出カメラが欠陥による前記検査光の散乱を検知する際に、表面欠陥による検査光の散乱を検出カメラが検知し、更に前記散乱による散乱光がガラス基板内部を伝播し裏面反射したものを検出カメラが検知することで2回検出され、裏面欠陥は、ガラス基板内部に入射した検査光の裏面欠陥による散乱を検出カメラが検知し1回のみ検出されることによりガラス基板欠陥の表裏識別を行うことを特徴とするガラス基板欠陥の表裏識別方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ガラス基板の表裏いずれかに欠陥が存在するかを識別するガラス基板欠陥の表裏識別方法であって、搬送されるガラス基板より間隔を空けて設けた検査光源より照射された検査光をガラス基板に対する入射角度を一定にして照射し、表面欠陥は、ガラス基板より間隔を空けて設けた検出カメラが欠陥による前記検査光の散乱を検知する際に、表面欠陥による検査光の散乱を検出カメラが検知し、次いで前記散乱による散乱光がガラス基板内部を伝播し裏面反射したものを検出カメラが検知することで2回検出され、裏面欠陥は、ガラス基板内部に入射した検査光の裏面欠陥による散乱を検出カメラが検知し1回のみ検出されることによりガラス基板欠陥の表裏識別を行うことを特徴とするガラス基板欠陥の表裏識別方法。

IPC (1件)：

G01N 21/896

FI (1件)：

G01N21/896

Fターム (7件)：

2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051AB08 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 欠点検査装置および欠点検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-334104   出願人：株式会社ジーニック, 日本板硝子株式会社
• 板ガラスの欠点検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-218365   出願人：日本電気硝子株式会社
• 透光性物体の欠点検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-257234   出願人：旭硝子株式会社
• 特許3480176号号公報