特許
J-GLOBAL ID：200903058987140058

高周波装置

発明者：
加 藤 努

加 藤 努 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325406
公開番号（公開出願番号）：特開2000-151329
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【課題】 高周波出力の立ち上がり時にミスマッチング動作をさせないようにした。【解決手段】 変調信号発生回路12からのパルス信号は、ダイオードDの働きにより、パルス信号と同期して急峻に上がり、高周波出力の立ち上がりと同期して立ち下がり始め、抵抗R1とコンデンサC1に基づく時定数で立ち下がる信号になり、トランジスタTrのベースに入力される。トランジスタTrはこのパルス信号のオン期間Q1にわたってオンの状態となり、次の立ち上がりまでの期間Q2オフの状態となる。変換回路22AのダイオードDに入力された高周波信号はトランジスタTr側に流れ、直流変換回路28には流れず、負荷変動がなければ、直流変換回路28の入力信号及び出力信号は0となる。
請求項（抜粋）：
高周波電源、高周波電源からの高周波出力を変調する変調回路、変調された高周波出力が供給される負荷、高周波電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとから成るマッチングボックス、及び、高周波電源とマッチングボックスとの間に設けられ、入力インピーダンスと、入力高周波の電圧と電流の位相とを求める検出回路を備え、検出回路により求められたインピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量を調整し、検出回路により求められた位相に応じてチューニング可変コンデンサの容量を調整するように構成した高周波装置であって、検出回路は求められたインピーダンスに対応した高周波信号と求められた位相に対応した高周波信号をそれぞれ直流信号に変換するように成してあり、該直流信号に基づいてマッチングを行う際、高周波出力の立ち上がり時に検出された反射電力に基づくマッチング動作をさせないように成したことを特徴とする高周波装置。
IPC (3件)：
H03H 7/40 ,  C23C 14/40 ,  C23C 14/54
FI (3件)：
H03H 7/40 ,  C23C 14/40 ,  C23C 14/54 Z
Fターム (2件)：
4K029DC35 ,  4K029EA09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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