特許
J-GLOBAL ID:200903059023008637
光学部材検査装置および検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-189853
公開番号(公開出願番号):特開平9-015159
出願日: 1995年07月03日
公開日(公表日): 1997年01月17日
要約:
【要約】【目的】 客観的な基準に基づいて光学部材の良否を判断することができる光学部材検査装置およびその方法の提供を目的とする。【構成】 光源10から発した光束を第1、第2の拡散板21,22から構成される拡散手段20により拡散させて被検レンズ1を透過させ、この被検レンズをCCDカメラ30により撮影する。画像処理装置40は、画像出力に基づいて被検レンズの欠陥を判定し、被検レンズ1の情報をモニタディスプレイ50に表示する。第1、第2の拡散板21,22はから構成される拡散手段20は、第1、第2の拡散板が重なる中心領域は拡散透過率が低く、重ならない周辺領域は拡散透過率が相対的に高くなる。
請求項(抜粋):
光源と、拡散透過率の高い周辺領域、および拡散透過率の低い中心領域を有し、前記光源から発した光束を拡散させる拡散手段と、該拡散手段を透過して被検物である光学部材を透過した光束を受光する位置に設けられ、前記被検物を撮影する撮影手段と、該撮影手段から出力される画像信号に基づいて前記被検物の欠陥を判定する判定手段とを備えることを特徴とする光学部材検査装置。
引用特許:
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