受発光複合ユニット及びこれを用いた変位検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小松祐治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026743
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228412
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】低価格で小型、軽量化に適した信頼性の高い受発光複合ユニット及び当該ユニットを用いた変位検出装置を提供する。【解決手段】受発光複合ユニット1において、光源3と、ユニットへの戻り光を複数の光に分けるための光分岐部4と、戻り光の偏光状態に応じて透過光量を増減させる偏光部5と、偏光部5を経た光を検出するための複数の光検出部6_1乃至6_4を含む受光部6とを、パッケージ化することで一体構造に形成する。そして、このユニット1に対する外部光学系ETとして、反射型回折格子RGを含む被検部と、ユニット1から出射された光を反射型回折格子RGに向けて反射させるための反射部材R1a、R1bと、反射型回折格子RGによる回折光を受けて偏光状態を変えるための偏光部材WP1a、WP1bと、各偏光部材を通った光を反射させて逆方向に戻すための反射部材R2a、R2bとを配置して、格子干渉型の変位検出装置を構成する。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から発した光のうち外部の光学系を通ってユニットに戻ってきた戻り光を複数の光に分けるための光分岐部と、当該戻り光の偏光状態に応じて透過光量を増減させる偏光部と、当該偏光部を経た光を検出するための複数の光検出部を含む受光部とを備え、これらをまとめて同一部材内に配設してパッケージ化することで一体的な構造にしたことを特徴とする受発光複合ユニット。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01D 5/38

FI (2件)：

G01B 11/00 G , G01D 5/38 A

Fターム (34件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065CC17 , 2F065DD02 , 2F065DD03 , 2F065DD11 , 2F065FF49 , 2F065GG06 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ22 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065PP22 , 2F065QQ00 , 2F103BA04 , 2F103BA10 , 2F103CA03 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA05 , 2F103EA15 , 2F103EB02 , 2F103EB12 , 2F103EB32 , 2F103EC04 , 2F103EC13 , 2F103EC14 , 2F103ED01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-247616
光学式位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-021009 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-295648

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審査官引用 (5件)

特開昭63-247616
光学式位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-021009 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-295648

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