特許
J-GLOBAL ID：200903059203652666
静電チャック装置用電極部材ならびにそれを用いた静電チャック装置および静電吸着解除方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-089754
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251737
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】 静電チャック装置から被吸着物を離脱させるために静電吸着解除することは、単純に印加電圧を遮断するだけでは困難であった。本発明は、静電チャック装置に吸着した被吸着物の吸着解除、離脱を複雑な操作をしなくても容易に行うことができる汎用性の高い静電チャック装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の静電チャック装置用電極部材および静電チャック装置は、静電チャック装置用電極部材の表面に被吸着物5と接する帯電制御用電極1を設置し、これを吸着解除時にアース電極として作用させて、被吸着物5の離脱を促進することを特徴とする。静電チャックは単極、双極のいずれであってもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被吸着物に接触する帯電制御用電極と、静電吸着用電極と、前記静電吸着用電極を被覆する絶縁部材とを有することを特徴とする静電チャック装置用電極部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031HA35
, 5F031PA30
