特許
J-GLOBAL ID:200903067853485562

ハンドリング装置及びそれを用いたハンドリング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西脇 民雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-236103
公開番号(公開出願番号):特開2006-052075
出願日: 2004年08月13日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】大気中での保持から真空中での保持に移行した場合にも、ハンドリング対象物の離反動作が円滑に行えるハンドリング装置を提供すること。【解決手段】互いに異なる電圧を印加することが可能な電極要素103a、103bがハンドリング対象物104に向けて露出して隣接して配設されており、電極要素103a、103bに異なる電圧を印加させることにより、高抵抗性のハンドリング対象物104を保持面102aに静電気吸引力により吸引して接触的に保持し、電圧の印加を遮断して接地することにより静電気吸引力を解除してハンドリング対象物104を保持面102aから離反させるハンドリング装置である。静電吸引力が働く位置までハンドリング対象物104を引き寄せる機械的引き寄せ装置106を備えていることが好ましい。【選択図】図2
請求項(抜粋):
互いに異なる電圧を印加することが可能な電極要素がハンドリング対象物に向けて露出して隣接して配設されており、 該電極要素に異なる電圧を印加させることにより、高抵抗性のハンドリング対象物を前記電極要素の表面に静電気吸引力により吸引して接触的に保持すると共に、該電圧の印加を遮断して接地することにより前記静電気吸引力を解除してハンドリング対象物を前記電極要素の表面から離反させることを特徴とするハンドリング装置。
IPC (3件):
B65G 49/06 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/677
FI (3件):
B65G49/06 A ,  B25J15/06 S ,  H01L21/68 B
Fターム (14件):
3C007AS24 ,  3C007AS25 ,  3C007FS10 ,  3C007GU00 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA09 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031NA05 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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