シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551160
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516959
出願日： 1999年03月27日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】本発明は、シャシ(5)と、ステータ(3)と、ロータ(4)とケーシングとを備えた摩擦真空ポンプ(1)に関する;ポンプのすべての機能エレメントは1つのユニット(27)にまとめられており、このユニット自体は用途に適したケーシング(19,55)内に押し込まれる;この手段によって特別な接続ケーシングが省略され、最適のコンダクタンス状態を達成することができる。

請求項（抜粋）：

シャシ(5)、ステータ(3)、ロータ(4)及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ(1)において、ケーシングが2つのケーシング部分(18;19,55)から成っており、第1の内側のケーシング(18)は、大体において円筒状に構成されていて、ステータ(3)を取り囲み、かつポンプ内に入るガスのための貫通開口(28,35)を備えており、かつ第2のケーシング(19,55)は、第1のケーシングをその中にあるポンプ構成部分とともに収容する孔(22)並びに接続開口(36,37,44)を有していることを特徴とする、シャシ、ステータ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ。

IPC (2件)：

F04D 19/04 , F04D 29/60

FI (2件)：

F04D 19/04 G , F04D 29/60 H

Fターム (5件)：

3H031DA02 , 3H031EA00 , 3H031EA06 , 3H031FA31 , 3H031FA37

引用特許：

出願人引用 (4件)

ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223606 出願人：三菱重工業株式会社
分子吸引ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-169611 出願人：アルカテル・セイテ
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-161689 出願人：ダイキン工業株式会社

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審査官引用 (4件)

ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223606 出願人：三菱重工業株式会社
分子吸引ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-169611 出願人：アルカテル・セイテ
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-161689 出願人：ダイキン工業株式会社

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