特許
J-GLOBAL ID：200903059245787090

化学機械研磨におけるウェハの温度制御装置およびその方法

発明者：
ブライト・ニコラス

ブライト・ニコラス について

, 
ヘンカー・デイビッド・ジェイ.

ヘンカー・デイビッド・ジェイ. について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-557749
公開番号（公開出願番号）：特表2005-514781
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【解決手段】 装置および方法は化学機械研磨工程のためにウェハ(52)の温度を制御する。ウェハキャリア(66)は、ウェハ(52)に対するエネルギを伝達する熱エネルギ伝達部(64)に近接するウェハを配置するためのウェハ取り付け面を備える。熱エネルギ検出器(54)は、ウェハ(52)の温度を検出するために、ウェハ取り付け面に近接して配置されている。制御装置(60)は、検出器(54)に対応し、熱エネルギ伝達部(64)に対する熱エネルギ供給を制御する。実施例は、ウェハの分離領域の規定と、各分離領域に対する熱エネルギ伝達部(64)の分離区画の提供と、分離領域に関連付けられている熱エネルギ伝達部(64)に対する熱エネルギ供給を個別に制御するために、各分離領域の温度を別々に検出することを含む。
請求項（抜粋）：
化学機械研磨工程のためのウェハの温度を制御する装置であって、 ウェハ取り付け面を有するウェハキャリアと、 前記ウェハ取り付け面に近接し、前記ウェハに対してエネルギを伝達する熱エネルギ伝達部と、 前記ウェハ取り付け面に近接し、前記ウェハの温度を検出する熱エネルギ検出部と、 前記検出部に対応して、前記熱エネルギ伝達部に対する熱エネルギの供給を制御する制御装置と を備える装置。
IPC (3件)：
H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  B24B37/04
FI (4件)：
H01L21/304 622R ,  H01L21/304 621D ,  B24B37/00 J ,  B24B37/04 E
Fターム (9件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AC02 ,  3C058BA08 ,  3C058BB02 ,  3C058BC01 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12
引用特許：
審査官引用 (5件)
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