エキシマレーザ装置とレーザガス交換方法と部分ガス交換量演算方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-122501
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303174
出願日： 2005年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換を行う頻度を下げ更に望ましくは全ガス交換を不要にするエキシマレーザ装置および方法を提供する。【解決手段】レーザチャンバ内のレーザガスを、レーザチャンバ内の不純物量を一定以下に保つようなガス交換量にて部分ガス交換するように、ガス供給装置とガス排気装置を制御する。また、レーザチャンバ内の部分ガス交換を無限に繰返した場合の出力光エネルギー総低下量Aと、レーザチャンバ内全ガス圧Pと、単位時間あたりの出力光エネルギー低下量kを用いて前記部分ガス交換量を求める。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザガスを封入し不純物が時間の経過と共に増加するレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内にレーザガスを供給するガス供給装置と、前記レーザチャンバ内のレーザガスを排気するガス排気装置と、前記ガス供給装置と前記ガス排気装置を制御するコントローラとを備えたエキシマレーザ装置において、

IPC (3件)：

H01S 3/134 , H01S 3/225 , H01S 3/036

FI (3件)：

H01S3/134 , H01S3/223 E , H01S3/03 J

Fターム (8件)：

5F071AA06 , 5F071BB05 , 5F071HH01 , 5F071HH02 , 5F071HH08 , 5F071HH09 , 5F071JJ05 , 5F071JJ10

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第2701184号公報

審査官引用 (6件)

特開平3-078267
ガス制御方法及びレーザコントローラ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-001214 出願人：株式会社小松製作所
ガスレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-093179 出願人：株式会社小松製作所

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