低窒素濃度炭素系材料及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-382973
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249376
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】グロー放電質量分析法による窒素濃度が100ppm以下の低窒素濃度炭素系材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】ハロゲンガス雰囲気下で高純度処理した炭素系材料を、圧力100Pa以下、1800°C以上で熱処理し、炭素系材料中の窒素を放出させた後、圧力100Pa以下若しくは希ガス雰囲気下において冷却を行う。

請求項（抜粋）：

グロー放電質量分析法による窒素濃度が100ppm以下である低窒素濃度炭素系材料。

IPC (4件)：

C04B 35/52 , C23C 16/458 , C30B 15/10 , H01L 21/205

FI (4件)：

C23C 16/458 , C30B 15/10 , H01L 21/205 , C04B 35/54 E

Fターム (22件)：

4G032AA04 , 4G032AA21 , 4G032BA01 , 4G032BA04 , 4G032GA01 , 4G032GA19 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077BE08 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077HA12 , 4G077PD01 , 4K030BA37 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030GA02 , 4K030KA47 , 4K030LA12 , 5F045AB02 , 5F045BB14 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (5件)

耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-118661 出願人：東海カーボン株式会社
単結晶引上装置、高純度黒鉛材料及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-066023 出願人：東洋炭素株式会社
特開平1-197363

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