特許
J-GLOBAL ID：200903059396066980
排液弁
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-071636
公開番号（公開出願番号）：特開2002-276843
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 ベローズやダイヤフラムを使用することなく、薬液が弁の摺動部分に接触しない排液弁を提供すること。【解決手段】 ロッド11の先端に設けられた弁体13を、入力ポート3側に設けられた弁座面6に当接・離間させることにより、入力ポート3と出力ポート4との間で弁の開閉を行うものであり、ロッド11が、弁室5内に突設されたロッドガイド12内に摺動可能に挿入され、弁体13が、ロッドガイド12より大径の筒状部13Bを有する有底筒形状をしたものであって、ロッド11が摺動可能に支持されたロッドガイド12から突き出された閉弁時に、弁体13の筒状部13Bでロッド11の露出部11aを覆うようにした排液弁1。
請求項（抜粋）：
ロッドの先端に設けられた弁体を、入力ポート側に設けられた弁座面に当接・離間させることにより、入力ポートと出力ポートとの間で弁の開閉を行う排液弁において、前記ロッドは、弁室内に突設されたロッドガイド内に摺動可能に挿入され、前記弁体は、前記ロッドガイドより大径の筒状部を有する有底筒形状をしたものであって、前記ロッドが摺動可能に支持されたロッドガイドから突き出された閉弁時に、前記弁体の筒状部で前記ロッドの露出部を覆うようにしたものであることを特徴とする排液弁。
Fターム (6件)：
3H056AA01
, 3H056BB36
, 3H056CA01
, 3H056CB03
, 3H056CD04
, 3H056GG04
審査官引用 (3件)
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弁ユニット
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-012346
出願人：シーケーディ株式会社
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基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-300860
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-215128
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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