特許
J-GLOBAL ID：200903059624336054

エアリークテスト装置

発明者：
福田 僚

福田 僚 について


出願人/特許権者：
株式会社フクダ

株式会社フクダ について


代理人 (1件)： 渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205892
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033344
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 ワークの漏れ検出を短時間でしかも高精度に行えるエアリークテスト装置を提供する。【解決手段】 共通エア通路2は、マスタ側の分岐エア通路3とワーク側分岐エア通路4に分岐される。加圧弁6を開いて分岐エア通路3,4にテスト圧を付与した後、この加圧弁6を閉じることにより、分岐エア通路3,4が連通状態で閉鎖される。この状態で、圧力センサ11により放熱に伴う圧力変動を検出し、これにより、後述の放熱補償値を得る。次に、遮断弁7を閉じて、2つの分岐エア通路3,4を互いに独立した状態で閉鎖する。この閉鎖状態で、差圧センサ12により、分岐エア通路3,4間の差圧を検出する。この検出差圧から上記放熱補償値を差し引くことにより、ワークWの漏れによる差圧を検出することができる。
請求項（抜粋）：
テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第1閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第2閉鎖手段と、上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第1閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第2閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。
Fターム (2件)：
2G067BB28 ,  2G067DD03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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