特許
J-GLOBAL ID:200903059625957850
配線及び半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-238919
公開番号(公開出願番号):特開平8-107142
出願日: 1994年10月03日
公開日(公表日): 1996年04月23日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、配線金属としてアルミニウム(Al)等エレクトロマイグレーションの生じやすい金属を用いた多層配線に関し、配線金属原子のマイグレーションにより配線層が断線に至る時間を長くする。【構成】 第1の配線層13上、カソード側の領域において第1の配線層13の長手方向に並立する複数の接続導体18a〜18cを介して第1の配線層13と第2の配線層19とが接続されてなる。
請求項(抜粋):
第1の配線層上、カソード側の領域において前記第1の配線層の長手方向に並立する複数の接続導体を介して前記第1の配線層と第2の配線層或いは電極とが接続されてなることを特徴とする配線。
引用特許:
審査官引用 (6件)
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半導体集積回路の多層配線構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-234870
出願人:株式会社東芝
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特開平3-042856
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-327098
出願人:三菱電機株式会社
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