特許
J-GLOBAL ID：200903059754256761

クリーニングの終点検出方法

発明者：
加藤 良裕

加藤 良裕 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-269364
公開番号（公開出願番号）：特開2006-086325
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 発光強度の測定位置やクリーニング条件、プラズマの変動などの要因に影響されることなく、確実にクリーニングの終点検出を行なう。【解決手段】 成膜処理済みのウエハWをチャンバー2から搬出した後、チャンバー2内を減圧し、ガス導入口7からクリーニングガスを導入する。高周波電源30からシャワーヘッド5に高周波電力を印加し、上部電極としてのシャワーヘッド5と下部電極としてのサセプタ3との間に高周波電界を生じさせ、クリーニングガスをプラズマ化する。クリーニング中は、チャンバー2内のプラズマ中のラジカルの発光強度を分光器22によって測定し、クリーニングの進行に伴って減少するスペクトル(D)と、クリーニングの進行に伴って増加するスペクトル(I)との比D/Iを自動的に求め、チャート化することにより、クリーニングのエンドポイントを検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
CVD処理容器をクリーニングするにあたり、処理容器中のラジカル発光強度を測定してクリーニングの終点を検出する終点検出方法であって、 クリーニングの進行に従い減少するラジカルの発光強度Dと、増加するラジカルの発光強度Iとの比D/Iを求め、その時間変化から終点の検出を行なうことを特徴とする、クリーニングの終点検出方法。
IPC (3件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H01L21/205 ,  C23C16/44 J ,  H01L21/302 101H
Fターム (33件)：
4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA29 ,  4K030BA37 ,  4K030BA40 ,  4K030BA41 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA06 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030JA06 ,  4K030JA11 ,  4K030JA13 ,  4K030KA15 ,  4K030KA39 ,  5F004AA15 ,  5F004BA06 ,  5F004BA09 ,  5F004BB13 ,  5F004BB28 ,  5F004CB02 ,  5F004CB15 ,  5F004DA17 ,  5F004DA22 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F004DB03 ,  5F004DB07 ,  5F045AA08 ,  5F045AB02 ,  5F045EB06 ,  5F045GB08
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開昭63-14421号公報(特許請求の範囲など)
審査官引用 (8件)
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