特許
J-GLOBAL ID:200903059895812021
マイクロ波伝送線路およびマイクロ波フィルタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-183036
公開番号(公開出願番号):特開2006-005887
出願日: 2004年06月21日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】金属磁性体を用いたより高周波域での利用が可能なマイクロ波伝送線路およびマイクロ波フィルタを提供すること。【解決手段】マイクロ波伝送線路100は、半導体基板10上に、順に、接地層12、絶縁層14、磁性層20、導電層16が積層された構造を有する。ストリップラインは、絶縁層14、磁性層20、および、導電層16によって形成される。磁性層20は、非磁性層22を強磁性層21および強磁性層23で挟んだ積層膜であり、人工反強磁性体として機能する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
共鳴周波数を決定する磁性層として、第1強磁性体、非磁性体、及び第2強磁性体を積層した積層膜を含み、
前記第1強磁性体と前記第2強磁性体とは反強磁性結合していることを特徴とするマイクロ波伝送線路。
IPC (9件):
H01P 3/08
, H01P 1/19
, H01P 1/218
, H01P 3/02
, H01P 7/00
, H01P 7/08
, H01L 21/822
, H01L 27/04
, H01L 21/82
FI (8件):
H01P3/08
, H01P1/19
, H01P1/218
, H01P3/02
, H01P7/00 B
, H01P7/08
, H01L27/04 D
, H01L21/82 W
Fターム (11件):
5F038CD05
, 5F038CD18
, 5F038DF02
, 5F038EZ20
, 5F064EE32
, 5F064GG00
, 5J006HB03
, 5J006HD04
, 5J006JA02
, 5J012JA05
, 5J014CA00
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
高周波デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-054150
出願人:コーア株式会社, 佐藤敏郎, 山沢清人
審査官引用 (4件)
-
高周波デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-054150
出願人:コーア株式会社, 佐藤敏郎, 山沢清人
-
磁性薄膜インダクタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-049393
出願人:株式会社日立製作所, 日立マクセル株式会社
-
磁気抵抗効果素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-135196
出願人:株式会社東芝
-
電磁波素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-206646
出願人:科学技術振興事業団
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