特許
J-GLOBAL ID：200903059903050632
電界放出陰極及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149910
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017331
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 放出電流が安定で、引き出し電圧が低く、歩留りの良い電界放出陰極及びその製造方法を提供する。【構成】 電界放出陰極が、基板1或いはその上に任意に設けられたエミッタ電極2上に開口部6を有する絶縁膜3及びゲート電極4が積層され、前記開口部6中に少なくとも上層及び下層の2層からなる陰極膜が形成され、上層陰極膜10の陵の傾斜角が下層陰極膜8の陵の傾斜角より大きいことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板或いはその上に任意に設けられたエミッタ電極上に開口部を有する絶縁膜及びゲート電極が積層され、前記開口部中に少なくとも上層及び下層の2層からなる陰極膜が形成され、上層陰極膜の陵の傾斜角が下層陰極膜の陵の傾斜角より大きいことを特徴とする電界放出陰極。
IPC (2件)：
引用特許：
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