特許
J-GLOBAL ID：200903059937964285
ウェーハ支持方法及びウェーハ支持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐々木 功
, 川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-108609
公開番号（公開出願番号）：特開2007-281343
出願日： 2006年04月11日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】ウェーハに粘着テープを貼着してリングフレームと一体化させてウェーハを支持する場合において、ウェーハを損傷させることなく粘着テープに貼着すると共に、ウェーハと粘着テープとの間に気泡が入り込まないようにする。【解決手段】ウェーハWの表面側をチャックテーブル20において保持し、外周縁部にリングフレームFが貼着された粘着テープTの粘着面の中央部をウェーハWに対面する位置に位置合わせし、粘着テープTの非粘着面の中央部に対面する位置に配設されたバルーン部31を膨張させ、バルーン部31が粘着テープTを押圧してウェーハWの裏面に粘着テープTの粘着面を貼着する。バルーン部31が粘着テープTを徐々に外周側に向けて押圧してウェーハWに粘着テープTを貼着するため、粘着テープTとウェーハWとの間に気泡が入り込まない。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
ウェーハの裏面に粘着テープを貼着し、該粘着テープを介して該ウェーハをリングフレームと一体化させて該リングフレームで支持するウェーハ支持方法であって、
該ウェーハの表面側をチャックテーブルにおいて保持するウェーハ保持工程と、
外周縁部にリングフレームが貼着された粘着テープの粘着面の中央部を該チャックテーブルに保持されたウェーハに対面する位置に位置合わせする位置合わせ工程と、
該粘着テープの非粘着面の中央部に対面する位置に配設されたバルーン部にエアを供給して該バルーン部を膨張させ、該バルーン部が該粘着テープを押圧して該ウェーハの裏面に該粘着テープの粘着面を貼着する粘着テープ貼着工程と
から少なくとも構成されるウェーハ支持方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/301
H01L21/68 N
, H01L21/78 M
5F031CA02
, 5F031HA78
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031PA20
, 5F031PA30
出願人引用 (1件)
-
テープ貼り方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-010173
出願人：株式会社ディスコエンジニアリングサービス
審査官引用 (2件)
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