特許
J-GLOBAL ID：200903060109305381

金属酸化物膜の製造方法

発明者：
小堀 裕之

小堀 裕之 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 山下 昭彦 ,  岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-105395
公開番号（公開出願番号）：特開2006-282464
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 基材表面上に金属酸化物膜を形成する金属酸化物膜の製造方法であって、基材が複雑な構造部を有する場合においても、簡便なプロセスで均一な金属酸化物膜を得ることが可能であり、さらに結晶性に優れた金属酸化物膜を得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】 本発明は、基材表面に、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を接触させることにより金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、上記基材表面と上記金属酸化物膜形成用溶液とを接触させる際に、光を照射することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基材表面に、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を接触させることにより金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、 前記基材表面と前記金属酸化物膜形成用溶液とを接触させる際に、光を照射することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
IPC (3件)：
C01G 1/02 ,  C23C 18/14 ,  H01B 13/00
FI (3件)：
C01G1/02 ,  C23C18/14 ,  H01B13/00 503Z
Fターム (66件)：
4G042DA02 ,  4G042DB08 ,  4G042DB15 ,  4G042DB38 ,  4G042DD02 ,  4G042DE04 ,  4G042DE06 ,  4G042DE14 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CD02 ,  4G076AA01 ,  4G076AA02 ,  4G076AC10 ,  4G076BA14 ,  4G076BB03 ,  4G076BC02 ,  4G076BD02 ,  4G076BD10 ,  4G076BG05 ,  4G076CA10 ,  4G076CA23 ,  4G076DA11 ,  4G076DA30 ,  4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA05 ,  4K022AA12 ,  4K022AA13 ,  4K022BA02 ,  4K022BA08 ,  4K022BA09 ,  4K022BA11 ,  4K022BA14 ,  4K022BA15 ,  4K022BA17 ,  4K022BA20 ,  4K022BA21 ,  4K022BA22 ,  4K022BA25 ,  4K022BA26 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022CA06 ,  4K022CA17 ,  4K022CA18 ,  4K022CA20 ,  4K022CA21 ,  4K022DA09 ,  4K022DB02 ,  4K022DB04 ,  4K022DB07 ,  4K022DB08 ,  4K022DB13 ,  4K022DB18 ,  4K022DB19 ,  4K022DB24 ,  5F058BA09 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF41 ,  5F058BF69 ,  5F058BF77 ,  5F058BF78 ,  5F058BJ04 ,  5G323AA01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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