力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000529
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197552
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】力学量を高精度に検出する。【解決手段】半導体活性層34に溝部88を設け、溝部88内に固定部22、30、87を設け、固定部22に梁26を介して接続部89を設け、接続部89に梁27を介して振動質量24を設け、接続部89の側面から延びた櫛歯電極と固定部30に固定された櫛歯電極とで駆動電極28を構成し、振動質量24の側面から延びた櫛歯電極と固定部87に固定された櫛歯電極とで検出電極25を構成し、固定部87にMOSFET等からなるバッファ回路を設け、半導体活性層34の溝部88の周囲に信号処理回路95を設ける。

請求項（抜粋）：