特許
J-GLOBAL ID：200903060190533474

ファブリック形態のカーボンナノファイバー層のサイクロトロン共鳴プラズマによる蒸着方法と装置及び得られたファブリック層

発明者：
ドローネ,マルク

ドローネ,マルク について

, 
セメリア,マリ-ノエル

セメリア,マリ-ノエル について


出願人/特許権者：
コミツサリア タ レネルジー アトミーク

コミツサリア タ レネルジー アトミーク について


代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-508475
公開番号（公開出願番号）：特表2003-504512
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：
【要約】本発明は、触媒なしの基板上にカーボンナノファイバー又はナノチューブをファイバー形態で電子サイクロトロン共鳴プラズマによって蒸着させる方法と装置であって、高度に不安定な磁気ミラーを持つ磁気構造と、内部の上記基板の反対側の少なくとも一つの電子サイクロトロン共鳴ゾーンとを有する蒸着チャンバー内にマイクロ波出力を注入し、10-4mbar未満の圧力で蒸着チャンバーの中央の上記磁気ミラーにて炭素含有ガスをイオン化及び/又は解離させ、それによって加熱されている上記基板上に蒸着される種を生成する方法と装置に関する。本発明は更に蜘蛛の巣のような互いに連結されたカーボンナノファイバー又はナノチューブのファブリック又はアレイからなり、基板上にあってもよい層に関し、該層は触媒を含まず、ファブリック形態のカーボンナノファイバー又はナノチューブの少なくとも二層を含んでなる複数の層又は多層構造を有し、及びそのような層又は構造を有するフィルター、電子加速又は減速ナノグリッド及びフラットスクリーンに関する。
請求項（抜粋）：
触媒なしで基板上にカーボンナノファイバー又はナノチューブのウエブを電子サイクロトロン共鳴プラズマによって蒸着させる方法であって、高度に不安定な磁気ミラーを持つ磁気構造と、内部の上記基板の反対側に少なくとも一つの電子サイクロトロン共鳴ゾーンとを有する蒸着チャンバー内にマイクロ波出力を注入し、10-4mbar未満の圧力で炭素含有ガスのイオン化及び/又は解離を蒸着チャンバーの中央の上記磁気ミラーに誘発させ、加熱されている上記基板上に蒸着する種を生成する方法。
IPC (4件)：
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  H01J 31/12 ,  H05H 1/46
FI (4件)：
C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F ,  H01J 31/12 C ,  H05H 1/46 C
Fターム (26件)：
4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AB07 ,  4G146AB08 ,  4G146AC03A ,  4G146AC03B ,  4G146AC15A ,  4G146AC15B ,  4G146BA04 ,  4G146BA42 ,  4G146BC09 ,  4G146BC10 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030BB11 ,  4K030FA02 ,  4K030LA11 ,  5C036EE01 ,  5C036EE03 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11
引用特許：
審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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