光電子分光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：永井冬紀 (外1名) , 永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068271
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260146
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 1.X線源の小型化・高輝度化、2.使用するX線光学素子の作製容易化、3.高エネルギー分解能化・高空間分解能化、4.測定時間の短縮化、5装置全体の小型化、ができる光電子分光装置を提供する。【解決手段】試料111 にX線を照射したときに試料表面から放出される光電子112 のエネルギーを分析することにより、該試料を構成する原子もしくは分子の種類または化学的結合状態を同定する光電子分光装置において、前記試料111 に照射するX線は、パルスレーザー光103 を標的物質106 に集光照射してプラズマ107 を形成させ、該プラズマ107 からX線108 を取り出すレーザープラズマX線源から出射されたX線108 がフィルター115 により単色化または略単色化されたものであり、前記標的物質は、炭素(C)または炭素含有物であり、かつ前記フィルターの材料は、窒素(N)、窒素含有物、カルシウム(Ca)、カルシウム含有物、等であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射したときに試料表面から放出される光電子のエネルギーを分析することにより、該試料を構成する原子もしくは分子の種類または化学的結合状態を同定する光電子分光装置において、前記試料に照射するX線は、パルスレーザー光を標的物質に集光照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すレーザープラズマX線源から出射されたX線がフィルターにより単色化または略単色化されたものであり、前記標的物質は、炭素(C)または炭素含有物であり、かつ前記フィルターの材料は、窒素(N)、窒素含有物、カルシウム(Ca)、カルシウム含有物、ロジウム(Rh)、ロジウム含有物、パラジウム(Pd)、パラジウム含有物、銀(Ag)、銀含有物、チタン(Ti)、チタン(Ti)含有物、スカンジウム(Sc)またはスカンジウム(Sc)含有物であることを特徴とする光電子分光装置。

IPC (2件)：

G01N 23/227 , H01S 3/00

FI (2件)：

G01N 23/227 , H01S 3/00 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

光電子分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-333387 出願人：株式会社ニコン
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-127601 出願人：株式会社ニコン
レーザープラズマ点X線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-058651 出願人：関西電力株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所

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引用文献：

審査官引用 (1件)

“レーザープラズマX線源を用いたTOF光電子分光法(IV)”

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