特許
J-GLOBAL ID：200903060288729512
金属シリサイドタ-ゲット材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-359213
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110265
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 小粒径のパーティクルの発生を効果的に抑えることが可能な新規な金属シリサイドターゲット材を提供する。【解決手段】 金属シリサイドと遊離シリコンからなる組織を有し、理論密度に対するターゲット材の真密度の比である相対密度が100%を超え、ターゲット材組織中の遊離シリコン部のビッカース硬度が1100未満あるいは転位の確認されない領域が1μm以上であるターゲット材組織に調整する。またターゲット材表面の引っかき試験のアコースティック・エミッションにより特定される引っかき破壊荷重が50N以上であることが望ましい。
請求項（抜粋）：
シリコンと金属Mとの原子比Si/Mが2以上、実質的に化合物である金属シリサイドと遊離シリコンからなる組織を有するターゲット材であって、ターゲット材が化学量論的な高融点シリサイドMSi2および純シリコンSiで構成されると仮定して計算された理論密度に対するターゲット材の真密度の比である相対密度が100%を超え、ターゲット材組織中の遊離シリコン部のビッカース硬度が1100未満であることを特徴とする金属シリサイドタ-ゲット材。
引用特許：
前のページに戻る
