基板用搬送装置及び基板処理器並びに自動処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽切正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-144019
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335719
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】基板を安定して搬送し得かつ装置の省スペース化に寄与する基板用搬送装置の提供、基板を安定して支持し得る基板処理器の提供並びに該搬送装置及び処理器を具備した自動処理装置の提供。【構成】搬送手段24が具備する各基板挾持部材72乃至75のうち上基板挾持部材と下基板挾持部材とを夫々基板の中心を通る仮想水平線に対して所定角度位置に配置することとし、上記の目的を達成した。また、基板処理器が具備する基板受け台85の各基板支持部材88乃至90のうち上基板支持部材と下基板支持部材とを、夫々基板の中心を通る仮想鉛直線に対して所定角度位置に配置することとし、上記の目的を達成した。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板をその主面同士が平行となるように且つ各々が直立した状態にて一定間隔で整列して保持し得る保持手段と、前記保持手段を所定経路に沿って搬送する搬送手段とを有し、前記保持手段は、前記搬送手段により搬送される基体部と、前記基体部に可動に取り付けられて互いに協働して前記基板を前記主面に平行な方向において挾持する複数の基板挾持部材と、前記基板挾持部材各々を駆動する駆動手段とを含む基板用搬送装置であって、前記基板挾持部材は、前記基板の中心を通る仮想水平線上、若しくは該仮想水平線の極く近傍において基板に係合する上基板挾持部材と、該上基板挾持部材よりも下側にて基板に係合する下基板挾持部材とから成り、前記上基板挾持部材は、該上基板挾持部材の中心と前記基板の中心とを結ぶ直線が前記仮想水平線に対して下側に5度を基準にプラス10度、マイナス5度の角度をなすように配置され、前記下基板挾持部材は、該下基板挾持部材の中心と前記基板の中心とを結ぶ直線が前記仮想水平線に対して下側に25度を基準としてプラスマイナス10度の角度をなすように配置されていることを特徴とする基板用搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-028346
半導体基板用搬送装置及び半導体基板処理器並びに自動処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-116642 出願人：株式会社カイジョー
半導体基板自動処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-137531 出願人：株式会社カイジョー

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